多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器
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作品简介
本书共分5章，第1章介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状，第2章介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响，第3章研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量，第4章研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用，第5章介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。
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