光电与光纤传感器MEMS技术及应用

本书以传感为核心，主要讲述光电与光纤传感器相关的技术及应用，其中，光传感的 MEMS 化作为传感器发展的方向，也做了深入介绍。全书内容包括与传感器有关的光（辐射）源、光电器件、结型光电器件、光电发射器件、光纤、各种光纤传感器件与技术、MEMS 光传感系统及工艺。对涉及的典型应用，也做了适当介绍。本书可作为理工科院校光电信息科学与工程、光学工程、信息与通信工程等专业从事传感领域研究的高年级本科生、研究生的学习教材或参考书，也可为研究和从事相关领域的科研人员和工作人员提供参考。